第三代半導(dǎo)體材料SIC碳化硅的發(fā)展在功率器件市場成為絕對的焦點。
SiC功率器件具有高耐壓、低損耗、高效率等特性,高頻高溫,是同等硅器件耐壓的10倍,能夠降低系統(tǒng)尺寸和運行成本。使用SiC器件可令系統(tǒng)成本下降,性能顯著提高,并且由于減少了外圍被動器件的使用,系統(tǒng)尺寸可大幅縮減。
基于硅基四英寸生產(chǎn)線設(shè)備能力,通過設(shè)計仿真、單項工藝和工藝整合技術(shù)攻關(guān),深圳市深鴻盛電子有限公司創(chuàng)新性地開發(fā)了低溫離子注入工藝,解決了高耐壓、低漏電、邊緣放電等關(guān)鍵問題,掌握了SiC肖特基二極管制備關(guān)鍵技術(shù),具備了SiC肖特基產(chǎn)品研制、生產(chǎn)能力,在產(chǎn)品性能、可靠性等方面具有國內(nèi)領(lǐng)先水平。
SiC肖特基二極管主要應(yīng)用于混合動力、光伏逆變器、礦機電源、電焊機和充電樁。
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