前面我們介紹了半導(dǎo)體材料的發(fā)展,而對(duì)功率半導(dǎo)體器件經(jīng)歷的發(fā)展歷程可以簡(jiǎn)述為三代,其中,第一代以晶閘管(SCR)、雙極型晶體管(BJT)、金屬氧化物場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)等于1960s出現(xiàn) ;第二代以絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)的面世為代表,它于1980s出現(xiàn);20世紀(jì)末期,第三代半導(dǎo)體器件以寬禁帶半導(dǎo)體材料為依托,主要有碳化硅(SiC) 和氮化鎵(GaN)器件,并且在大功率系統(tǒng)中碳化硅已經(jīng)得到較多的應(yīng)用,主要是碳化硅MOSFET分立器件以及模塊器件,而氮化鎵器件已經(jīng)在中小功率領(lǐng)域,如手機(jī)快充領(lǐng)域得到較多的應(yīng)用。從另一個(gè)方面來(lái)看,對(duì)于功率半導(dǎo)體器件也從結(jié)型控制器件,這里的結(jié)(Junction),典型代表是PN結(jié),這是半導(dǎo)體器件的靈魂基礎(chǔ),這些器件包括Diode、BJT、SCR、GTR和GTO等。
兩種不同類(lèi)型的半導(dǎo)體在相接的地方會(huì)通過(guò)載流子的擴(kuò)散和復(fù)合會(huì)形成PN結(jié),也就是空間電荷區(qū),對(duì)稱(chēng)PN結(jié)的空間電荷區(qū)整體表現(xiàn)為電中性,多數(shù)半導(dǎo)體器件都存在PN結(jié)結(jié)構(gòu)(注:肖特基不是PN結(jié))。
<PN結(jié)示意圖>
從結(jié)型器件發(fā)展到場(chǎng)控器件,這里場(chǎng)指電場(chǎng),代表器件包括MOSFET、IGBT和IGCT等,而高頻化、低功耗、全可控、場(chǎng)控化已經(jīng)成為功率半導(dǎo)體器件的主要特征,關(guān)于這些器件的特征我們已在文中提及,其實(shí)質(zhì)是材料和工藝的進(jìn)步結(jié)果。
我們將不可控器件和半可控器件除外,這里介紹的是目前多數(shù)電力電子系統(tǒng)中常用的全控型器件如IGBT和MOSFET,首先MOSFET即“金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)”,IGBT即“絕緣柵雙極型晶體管(Insulated Gate Bipolar Transistor)”,名稱(chēng)是各自英文單詞首字母的組合,方便記憶,可以說(shuō)這兩種場(chǎng)全控型器件是目前電力電子或功率領(lǐng)域應(yīng)用最為廣泛的器件類(lèi)型,從低壓到高壓、從小功率到大功率,它們優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),組成了電力電子系統(tǒng)及設(shè)備王國(guó),由器件組成發(fā)展為拓?fù)?、直到電力電子整體系統(tǒng),電力電子硬件設(shè)計(jì)的核心是隨之發(fā)展的器件,尤其是功率半導(dǎo)體器件。
如下圖表是各類(lèi)功率半導(dǎo)體器件發(fā)展的過(guò)程階梯圖。
< 功 率 半 導(dǎo) 體 器 件 發(fā) 展 階 段 示 意 >