
德國半導(dǎo)體制造商Azzurro展示了‘1-bin’波長的LED晶圓,該技術(shù)可以做到少于3nm波長一致性生產(chǎn)數(shù)值,并在開發(fā)中得到1nm的結(jié)果。該公司表示,該破紀(jì)錄的1nm成功表明AZZURRO的技術(shù)有能力做出‘1bin’硅基氮化鎵LED晶圓。
AZZURRO表示,硅基氮化鎵晶圓的亮度和效率已經(jīng)可以解決,但產(chǎn)量的問題至今仍無定論。氮化鎵與硅之間的巨大晶格失配和熱膨脹系數(shù)導(dǎo)致LED晶圓在生長過程中會出現(xiàn)高度的翹曲問題。這會對波長、前向電壓和輸出功率產(chǎn)生不良影響。AZZURRO采用其恰當(dāng)?shù)奶赜袑@膽?yīng)變工程技術(shù)和生長技術(shù)來克服這些障礙。
AZZURRO的突破性成果包括:波長<3nm或0.6%、前向電壓為1.3%以及輸出功率為3.9%,從而極大地省去binning工序。同時,它還發(fā)布了超高晶體質(zhì)量的直徑為150nm的藍(lán)光硅基氮化鎵LED晶圓。與此同時,同樣令人印象深刻的200mm的LED晶圓顯示了該公司技術(shù)的可擴展性。
Azzurro最新的生產(chǎn)和發(fā)展成果清楚地證明,除了成本較低的基板和采用標(biāo)準(zhǔn)硅晶圓制作LED芯片等成本優(yōu)勢外,基于應(yīng)變工程技術(shù)的硅基氮化鎵LED晶圓還可以幫助減少binning。
該公司的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CMO,AlexanderLoesing,也是LED技術(shù)業(yè)務(wù)部的領(lǐng)導(dǎo)人,評論說:“我們?yōu)閳F隊所取得的1.0nm的成就感到非常自豪。這些結(jié)果證明了我們的GaN-on-Si技術(shù)讓LED行業(yè)離生產(chǎn)“1bin”LED晶圓的目標(biāo)更近。”
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