MEMS加速度計是傳感器的一種，本文跟著小編一起學(xué)習(xí)關(guān)于MEMS加速度計是何原理？

Mems加速度計是可以測量加速度的微傳感器，由于成本低、體積小的特點受到各行業(yè)的關(guān)注。根據(jù)實現(xiàn)原理不同，Mems加速度計主要分為三類，不同實現(xiàn)原理導(dǎo)致mems加速度計的靈敏也不同。

加速度計原理

1.1 加速度計由MEMS傳感器與信號處理芯片組成。

1.2 MEMS加速度計工作原理

由上電容、中電容板(可移動)、下電容板等組成；當(dāng)加速度達到一定值后，中電容板會移動，與上、下電容板的距離就會變化，上、下電容因此變化。電容變化跟加速度成比(如下面公式)，通過對輸出電壓數(shù)字處理后，輸出數(shù)字化信號。

如圖：

公式：(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm   ;輸出電壓為電容電壓變化部分；vm(輸入電壓)

(2) 由容的定義可得出電容的大小與位移之間的關(guān)系：